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KLA-Tencor举办半导体新闻发布会

时间:2018-04-25来源:秒速飞艇浏览次数:

  秒速飞艇据麦姆斯咨询报道,近日,KLA-Tencor(科天)在上海新国际博览中心举办的中国国际半导体设备、材料、制造和服务展览期间举行了2018年中国半导体新闻发布会。KLA-Tencor资深客户合作副总裁兼首席营销官Oreste Donzella先生发表了题为“加速中国的成功(Accelerating Chinas Success)”的主题演讲。KLA-Tencor已经充分准备好以工艺控制及良率管理设备供应商身份支持中国半导体产业的蓬勃发展。

  首先,Oreste Donzella介绍当今半导体产业有两个重要转折点:第一,新的应用驱动发展,例如物联网、5G、人工智能和自动驾驶等;第二,中国半导体的快速崛起,对全球半导体的贡献和影响与日俱增。

  “我们很欣喜地看到中国半导体产业的快速发展,KLA-Tencor在工艺控制及良率管理方面,全方面帮助和加速中国的成长。”Oreste Donzella表示,“中国将会是第一个5G商用化的国家,并且也在大力发展人工智能,因此充满了半导体机遇。”

  随着技术的进步发展,半导体芯片的工艺步骤越来越多,也更加复杂化。如采用多重图形技术的工艺则为达到1000多道,而工艺窗口的挑战则要求几乎是“零缺陷”,这就对工艺控制水平提出了更高的要求。制造过程中任何细小的错误都将导致重新流片,而其代价将会很大,因此在制造过程中,检测和量测变得越来越重要,越早发现问题所在,可挽回的损失越大。Oreste Donzella指出:“晶圆厂的设备支出和过程控制需求达到历史高位水平,未来有望实现进一步增长!”

  Oreste Donzella继续说道:“大家从下面一幅图可以看出:为什么半导体产业第二个重要转折点在中国?这是因为中国半导体制造线遍地开花:从东北到华南深圳,从华东上海到中西部重庆、成都和武汉。实际上,不仅仅是半导体制造线,还包括半导体芯片设计、封装和测试、设备和材料,中国半导体产业链全面布局与发展!”

  随着近几年中国政府对发展半导体产业的大力投资,中国半导体产业呈现蓬勃发展的局面。Oreste Donzella表示:“中国有很多对于我们很重要的客户,KLA-Tencor与他们保持密切的合作关系,为他们提供所需的技术支持和服务。因此在2017年取得了很好的业绩中国订单显著增长(几乎是2016年的3倍)。今后,KLA-Tencor会持续投入中国市场,加速中国半导体产业发展。”

  KLA-Tencor产品线涵盖了半导体工艺的各个环节和技术节点,包括晶圆表面缺陷、光罩、薄膜等,也同时提供数据的分析和储存。在其它领域,如高亮度LED、MEMS、功率器件等,KLA-Tencor也为客户提供了大量的先进技术和机台。

  对于先进工艺,如7nm和5nm等设计节点,芯片制造商想要找到产品上的叠对误差、线宽尺寸不均匀和易失效点的明确起因将变得越来越困难。KLA-Tencor推出了5款图案成型控制系统,主要针对7nm以下的逻辑和尖端内存设计节点设计,以帮助芯片制造商实现多重曝光技术和EUV光刻所需的严格工艺宽容度。

  Oreste Donzella最后指出,“KLA-Tencor持续的研发投入确保了公司从硅片检测到线宽量测,以及光罩领域,都在业界处于领先地位。除了半导体检测和量测设备业务以外,KLA-Tencor还为客户提供技术支持与服务,帮助客户实现更大的生产价值。对于中国市场来说,200毫米晶圆制造线毫米晶圆制造线更为渴求。为此,KLA-Tencor在200毫米检测和量测设备方面继续投入研发力。

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